名词解释
有限表面源扩散
如果扩散之前在硅片表面先淀积一层杂质,在整个扩散过程中这层杂志作为扩散的杂质源,不再有新源补充,这种扩散方式称为有限表面......
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名词解释 分凝系数
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名词解释 水汽氧化