名词解释
物理气相淀积（pvd）
利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底表面上，并淀积成薄膜。
名词解释 RTA（RTP）
名词解释 退火
名词解释 沟道效应
