问答题 试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO2界面上，以及这种反应机制有何好处？

问答题 氧化工艺产生的SiO2为何种类型？并说明其结构对其强度和密度的影响。

问答题 试说明按结构分类的二氧化硅的基本类型且各举一例，并说明各种类型的主要结构特点。