填空题
根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。
直流；高频
问答题 简述功能薄膜材料的概念。
问答题 论述压电材料的应用。
填空题 声光材料可以分为（）和（）材料两大类。
