多项选择题
需要监控的参数包括（）。
A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率
多项选择题 PVD有哪些种类？（）
单项选择题 AlSi合金中含Si比例一般为（）。
单项选择题 CVD TiN TDMAT的载气是（）。
