单项选择题
在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量除以该时间间隔和基片面积来表征（）值。
A.溅射速率 B.抽气速率 C.沉积速率 D.放气速率
单项选择题 溅射装置中由溅射材料所组成的电极是（）。
单项选择题 TiN的顔色是（）。
单项选择题 CVD有（）。
