问答题
沿<111>方向生长硅单晶与沿<100>方向生长硅单晶热场有何不同?为什么不同?
晶体各向异性,不同的生长方向生长速度不同。因此,直拉单晶硅按不同方向生长,热场的纵向温度梯度不同。拉< 100......
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问答题 直拉单晶炉热场的纵向温度梯度和径向温度梯度对拉晶有何影响?
问答题 直拉单晶炉的合理热场条件是什么?
问答题 什么叫热场?