判断题
真空度愈高﹐真空室中气体的平均自由程愈大。
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判断题 大气中含量最高的是N2。
判断题 靶材换好后﹐可立刻直接对産品进行PVD。
判断题 Cryo pump（冷冻泵浦）以抽真空中之氩气效果最佳。
