判断题 柔性传感器是指将敏感元件与柔性/可延展性衬底集成，或以柔性材料为敏感/衬底材料，且性能不受弯曲、延展等形变影响的新型传感器。

判断题 带激励源型的传感器需要变换(测量)电路才有适当的电信号输出。

单项选择题 在光刻工艺中，一般包括（）等规格的硅片。