填空题 集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。

填空题 MOS型集成电路又分为NMOS、PMOS、（）型。

填空题 半导体集成电路是采用半导体工艺技术，在硅基片上制作包括电阻、电容、（）、晶体管等元器件并具有某种电路功能的集成电路。