填空题 电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

填空题 电子束加工可以加工出（）、锐边。

填空题 电子束加工时电子的动能绝大部分转变为（），使材料局部瞬时的快速溶蚀、气化蒸发而去除表层材料，并随真空系统而抽走。