问答题
集成电容主要有哪几种结构？
①金属-绝缘体-金属（MIM）结构； ②多晶硅/金属-绝缘体-多晶硅结构； ③金属叉指结构； ④PN结电容； ⑤MOS电容。
问答题 叙述H2还原SiCl4外延的原理，写出化学方程式。
问答题 什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
问答题 集成电路封装有哪些作用？
