问答题
微电子器件的特征尺寸继续缩小的关键技术有哪些?
第一个关键技术层次:微细加工;第二个关键技术:互连技术;第三个关键技术:新型器件结构,新型材料体......
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问答题 21世纪硅微电子技术的主要发展方向有哪些?
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