填空题 变面积型电容式传感器中，（）结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响。

填空题 压电传感器主要应用在（）、压力和力等的测量中。

填空题 数字式压力测量仪把（）和（）集成在一起，并把被测压力以数字的形式输出或显示的仪器。