问答题 有一台变间隙非接触式电容测微仪,其传感器的极板半径r=4mm,假设与被测工件的初始间隙δ0=0.3mm,已知极板间介质为空气,空气介电常数ε0=8.85*10-12F/m,试问 (1)如果传感器与工件的间隙变化量Δδ=+10μm,那么电容变化量为多少? (2)如果测量电路的灵敏度K=100mV/pF,则在Δδ=+1μm时的输出电压为多少?
问答题 简述推导差动式电容传感器的灵敏度,并与单极式电容传感器相比较。
问答题 有一平面直线位移差动传感器,其测量电路采用变压器交流电桥,如图所示。电容传感器起始时b1=b2=b=200mm,a1=a2=20mm,极距d=2mm,极间介质为空气,测量电路ui=3sinωtV,且u=ui。试求当动极板上输入一位移量Δx=5mm时,电桥输出电压uo为多少?