单项选择题 涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。

多项选择题 涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。

单项选择题 光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）。