判断题
SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。
正确(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 SiO2中5价的网络形成者可使结构强度增加,而3价的网络形成者可使结构强度减小。
判断题 热氧化生长的SiO2都是四面体结构,有桥键氧、非桥键氧,桥键氧越多结构越致密,SiO2中有离子键成份,氧空位表现为带正电。
判断题 热氧化过程中是硅向二氧化硅外表面运动,在二氧化硅表面与氧化剂反应生成二氧化硅。