单项选择题
手动贴膜机晶圆边缘胶膜余量允许值为（）。
A.0.5±0.5um B.0.6±0.6um C.0.5±0.5mm D.0.6±0.6mm
单项选择题 空气干燥机运行温度设定指示在（）℃范围。
单项选择题 空气干燥机运行压力值在（）范围。
单项选择题 PG3000RMX减薄机有（）个CHUCK TABLE。
