问答题
某一电容测微仪,其传感器的圆形极板半径r=4mm,工作初始间隙d=0.3mm,问: (1)工作时,如果传感器与工件的间隙变化量Δd=2μm时,电容变化量为多少? (2)如果测量电路的灵敏度S1=100mV/pF,读数仪表的灵敏度S2=5格/mV,在Δd=2μm时,读数仪表的示值变化多少格?
问答题 试推导图所示变介质型电容式位移传感器的特性方程C=f(x)。设真空的介电常数为ε0,图中ε2〉ε1,极板宽度为W。其它参数如图所示。
问答题 有一个以空气为介质的变面积型平板电容传感器如下图所示,其中a=10mm,b=16mm,两极板间距为d0=1mm。测量时,一块极板在原始位置上向左平移了2mm,求该传感器的电容变化量、电容相对变化量和位移灵敏度K(已知空气相对介电常数ε=1,真空的介电常数ε0=8.854×10-12F/m)。
问答题 如何通过相敏检波电路实现对位移大小和方向的判定?