单项选择题
溅射粒子入射角爲()°时溅射率最大。
A.20~30 B.40~50 C.60~80 D.80~100
单项选择题 质流控制器的作用是控制()。
单项选择题 对膜材的()是离子镀膜的两个不可缺少的环节。
单项选择题 离子清洗()提高溅射薄膜的附着力。