名词解释
离子注入的晶格损伤
高能离子注入硅片后与靶原子发生一系列碰撞,可能使靶原子发生位移,被位移原子还可能把能量依次传给其它原子,结果产生一系列的......
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名词解释 级联碰撞
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名词解释 驻波效应