问答题
叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
基本特征：体积小、重量轻、能耗低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成......
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问答题 试分析工程陶瓷材料的加工（磨削）技术及加工（磨削）机理。
问答题 综述精密超精密加工技术的现状和发展趋势。
问答题 相比较普通机床，超精密加工机床的主轴部件和进给系统有何具体的特点？
