问答题
为什么选用氩气作为放电气体？
因为氩气的放电电压不高，易于形成稳定的放电，氩气有较大的原子量，这是产生较大的溅射产额所需要的，氩气是惰性气体，不会与靶......
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问答题 溅射产额与哪些因素有关？
问答题 浸没在等离子体中基片的悬浮电位是多少？
问答题 什么是等离子体鞘层？
