单项选择题
靶材中杂质和表面氧化物对薄膜（）。
A.无污染 B.有污染 C.可提高纯度 D.可改善质量
单项选择题 物理气相沉积的英文简称是（）。
单项选择题 高于临界温度的气态物质爲（）。
单项选择题 常用RF溅射所用电源频率爲（）MHz。
