判断题 瓷环孔直径选择：=晶片对角尺寸＋0.2～0.5mm。上电极选择：晶片长边尺寸≤4.0mm，上电极直径为2mm，晶片长边尺寸＞4.0mm，上电极直径为4mm。

判断题 进入清洗净化间时，在风淋室内风淋的时间为15秒。

判断题 RBS清洗液的配比为RBS清洗液：纯水=1：80，清洗液每8小时更换一次。