填空题
扩散是物质的一个基本性质,分为三种形态()扩散、()扩散和()扩散。
气相;液相;固相
填空题 刻蚀剖面指的是(),有两种基本的刻蚀剖面()刻蚀剖面和()刻蚀剖面。
填空题 刻蚀是用()或()有选择地从硅片表面去除不需要材料的工艺过程,其基本目标是()。
填空题 随着铜布线中大马士革工艺的引入,金属化工艺变成刻蚀()以形成一个凹槽,然后淀积()来覆盖其上的图形,再利用()把铜平坦化至ILD的高度。