多项选择题
干法刻蚀的优点有（）
A.各向异性B.均匀性好C.各向同性D.设备简单
多项选择题 以下（）属于刻蚀终点检测法。
多项选择题 以下（）属于干法刻蚀工艺。
多项选择题 属于湿法刻蚀的优点的是（）
