单项选择题
机械泵和扩散泵是常用的获得真空的设备（）。
A.机械泵用以获得高真空，扩散泵用以获得低真空B.机械泵用以获得低真空，扩散泵用以获得低真空C.机械泵用以获得低真空，扩散泵用以获得高真空D.机械泵用以获得高真空，扩散泵用以获得高真空
单项选择题 热耦规和电离规是常用的真空测量器件（）。
多项选择题 薄膜制备过程中，影响薄膜质量的因素（）。
单项选择题 X射线与可见光、紫外线、γ射线都是电磁波，X射线的波长（）。
