多项选择题 当高能电子射到样品上时，内部原子对电子的散射可分为哪几种？（）

多项选择题 原子中核外电子对入射电子的散射所损失的能量部分转变为热，部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着产生各种有用信息，如（）、背散射电子等。

单项选择题 当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向发生改变的现象，叫（）。