单项选择题
减小球差的方法（）
A.增加球差系数和孔径半角，尤其是孔径半角B.增加球差系数和减小孔径半角，尤其是孔径半角C.减小球差系数和增加孔径半角，尤其是孔径半角D.减小球差系数和孔径半角，尤其是孔径半角
单项选择题 掠射角θ大于（）度时，衍射线形成背反射圆锥。
单项选择题 电子探针分析可分析微区的（）
单项选择题 SEM扫描线圈的作用是（）
