判断题
溅射装置中由溅射材料所组成的电极是工件。
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判断题 一般来说蒸发镀膜的工艺重复性比溅射镀膜要好些。
判断题 真空度越高,分子的平均自由程越短。
判断题 Cryo pump(冷冻泵浦)之压缩机是以R22做爲冷媒。