单项选择题
检漏仪吸枪校正时采用通道类型的标准漏孔所供给的氦压力是（）。
A.0.2MPaB.0.1MPaC.1MPaD.2MPa
单项选择题 以下哪个仪器中，不包含离子源收集功能？（）
单项选择题 离子注入机通过什么方式将杂质注入SiWafer？（）
单项选择题 对于回转翼型真空泵，描述正确的是哪个？（）
