判断题 化学气相沉积乃是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。

判断题 吸附质从流体主体通过分子与对流扩散穿过薄膜或边界层传递到吸附剂的外表面，称之为外扩散过程。

判断题 涡流扩散是在有浓度差异条件下，物质通过涡流流体的传递过程。