问答题
如何理解用正常凝固解释和计算直拉硅单晶中杂质分凝和杂质分布是成功的?
直拉法生长单晶硅可以近似地认为正常凝固。生长单晶硅时所掺的щ族和V族元素在硅熔点时扩散速度为10-11(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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问答题 普凡方程和导出方程过程中的一些假设称为BPS模型。提出这个模型是对晶体生长理论的重大贡献,常用它解释晶体生产中的一些问题。普凡方程在推导过程中有哪三个假设?
问答题 多晶硅熔完后,无任何机械振动干扰,熔硅表面发生波动的现象,称为温度振荡,简要描述产生温度振荡的原因?
问答题 所谓“跳硅”,指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚外,飞溅在加热器、保温罩、石墨托碗和单晶炉壁上,使石墨器件损坏,严重硅跳会烧坏单晶炉底。分析产生跳硅的原因,并给出适当的解决办法?