问答题
常用的CVD哪几种?说明各自的优缺点以及应用领域。
(1)常压化学气相淀积,这种工艺所需的系统简单,反应速度快,并特别适于介质淀积,但是它的缺点是均匀性较差,气体消耗量大,......
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问答题 双极型集成电路的工艺流程具体有哪些?
问答题 简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?
问答题 单晶硅与多晶硅的区别?