判断题 在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。

判断题 电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。

判断题 反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。