单项选择题 半自动减薄晶圆时，需要用到的组合键是“（）”。

单项选择题 GNX200B减薄机主轴的启动和停止应在10s之内，且主轴空转电流NO1≤（），NO2≤（）。

单项选择题 PG3000RMX减薄机暖机方法：机器在HOME状态下，点击屏幕正中间上方的“（）”进行暖机。