判断题 Cryo pump（冷冻帮浦）内装有活性炭可以捕捉气体分子。

判断题 冷泵再生时一般通入高纯氮气作清洗气体。

判断题 扩散泵停止镀膜作业后，无需将油降温，可以直接关机。