问答题
铝栅重叠设计方法虽然可解决铝栅MOS工艺的缺点，但还存在哪些缺点？
CGS、CGD都增大了；栅极增长，管子尺寸变大，集成度降低。
问答题 铝栅MOS工艺的缺点是什么？
问答题 MOS工艺包括有哪几种？MOS工艺的重要参数是什么？什么是特征尺寸？
问答题 与Si三极管相比，MESFET和HEMT存在哪些缺点？
