单项选择题 在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。

单项选择题 当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时，一般使用（）。

单项选择题 兼具有各向异性刻蚀的优点，又有可接受的选择比的刻蚀方法是（）。