单项选择题

A.可以用物理气相传输法制备SiC单晶
B.C面的氧化速率比Si面高很多
C.无论哪种生长方式,6H-SiC都最容易生长
D.一般用SiC体单晶或者蓝宝石作为衬底制备SiC薄膜