问答题
描述RF溅射系统。
问答题 什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
问答题 什么是阻挡层金属?阻挡层材料的基本特征是什么?哪种金属常被用作阻挡层金属?
问答题 例举并讨论引入铜金属化的五大优点。