判断题 人员持续不断地进出净化间，是净化间沾污的最大来源。

判断题 集成电路制造就是在硅片上执行一系列复杂的化学或者物理操作。简而言之，这些操作可以分为四大基本类：薄膜制作、刻印、刻蚀和掺杂。

判断题 CD是指硅片上的最小特征尺寸。