多项选择题
实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
A.超精密加工机理与工艺方法 B.超精密加工机床设备 C.超精密加工工具 D.测量补偿 E.误差补偿
单项选择题 纳米技术是指纳米级（）nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。
单项选择题 空气洁净度是按空气中每立方米含直径大于（）μm的尘粒数来分等级。
单项选择题 超微细加工主要指（）μm以下的微细尺寸零件，加工精度为0.1-0.01μm的加工。
