名词解释
PECVD（等离子增强CVD）
RF激活气体分子（等离子体），使其在低温（室温）下发生化学反应，淀积成膜。
名词解释 LPCVD（低压CVD）
名词解释 APCVD（常压CVD）
名词解释 化学气相淀积
