问答题
直拉硅单晶工艺中,经常采用什么措施降低单晶中的氧碳含量?
一、选用含氧、碳较低的多晶硅原料,多晶硅熔化时温度不要太高,尽量降低多晶硅和坩埚的反应,减少一氧化碳和一氧化硅的生成。......
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问答题 单晶中的杂质析出和杂质条纹对单晶质量危害很大,应尽量消除。生产中消除杂质析出和杂质条纹主要采取以下几种措施。
问答题 简述缩颈工艺能排除籽晶中原生和新生位错的原理。
问答题 晶体生长过程中由于受到多因素影响,熔体会产生不稳定的对流—湍流,这种湍流会引起熔体的温度振荡,干扰生长界面的稳定,使晶体产生生长条纹,影响单晶质量。描述减少自然对流的方法。