多项选择题
扩散系数是表征扩散快慢的参数，它相当于单位浓度梯度时的扩散通量，所以它（）
A.单位为m2/sB.有单位C.无单位D.单位为m/s
多项选择题 P在两歩扩散工艺中，第二步再分布的同时又进行了热氧化（kp=10），这会给再分布扩散带来哪些影响？（）
多项选择题 硅恒定源扩散，在扩散温度硅的固溶度为Ns，在进行了40min扩散后，测得结深是1.5μm，若要获得2.0μm的结深，在原工艺基础上应再扩散多少分钟？硅表面杂质浓度是多少？（）
单项选择题 多晶硅薄膜通常采取哪种方法制备？（）
