判断题
AL刻蚀从设备中出腔的时候会有光刻胶。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 干法刻蚀速率越快越好。
判断题 CMP耗材需要进行定期更换。
判断题 CTE是中心速率与边缘速率的比值。
