问答题
高频离子源优点
结构简单、寿命长、工作稳定、离子含量高放电原理在高频源中，电子从高频电磁场中得到能量，并与气体分子碰撞使其电离，产生等离......
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问答题 对引出系统的要求是
问答题 对离子源的要求
问答题 刘维定理
