单项选择题
两步工艺分为预淀积（预扩散）、再分布（主扩散）两步，预淀积是惰性气氛下的（）。
A.恒定源扩散B.有限源扩散C.间隙式扩散D.替位式扩散
单项选择题 以下不是扩散工艺的重要参数是（）。
单项选择题 固相扩散是通过微观粒子一系列随机跳跃来实现的，主要有三种方式。如下不是固相扩散方式的是（）。
单项选择题 通过定域、定量扩散掺杂，不能实现的目的是（）。
